當壓力傳感器沒有承受壓力時，其輸出電壓應(yīng)為零。采用離子束濺射成膜和光刻工藝制成的濺射薄膜壓力傳感器，工藝上不能保證惠斯登電橋四個橋臂電阻均勻一致，電橋的平衡條件不能滿足，故傳感器即使沒有承受壓力，處于運行狀態(tài)下的傳感器也會有輸出訊號。

為了將“零點輸出”控制在一定范圍之內(nèi)，制作傳感器時，便要引入“零點補償”，即外接一個電阻使惠斯登電橋盡可能達到平衡狀態(tài)，可是，由于外接電阻材料和形成薄膜電阻二者的電阻溫度系數(shù)不一致，便導(dǎo)致傳感器的溫度漂移發(fā)生變化。外接電阻的阻值越大，對溫漂的影響也越大。為了讓溫漂滿足要求，不得已又要通過外接電阻來進行溫度補償。溫補電阻的接入又會影響零補電阻的失配，二者互為影響，必須反復(fù)進行調(diào)整，以求零點輸出和溫度漂移均滿足要求。由此可見，在傳感器的制作過程中，“零補”和“溫補”費時費力，不但增加了成本的投入，對傳感器的質(zhì)量和穩(wěn)定性亦有負面影響。有文章指出：“傳感器在制造中必須進行零點和溫度補償，對壓力傳感器來說，外加的平衡和補償電阻，可能是該系統(tǒng)中最不穩(wěn)定的因素。”

如果能將絕大部分零補電阻直接做在壓力芯片上，肯定有利于傳感器工藝的改進和質(zhì)量的提高。在分析了這種想法的可能性之后，便把在壓力芯片上制作零補電阻當作壓力芯片工藝研究的關(guān)鍵技術(shù)之一。本文源自澤天傳感，轉(zhuǎn)載請保留出處。